Ôö͸ĤµÄÖƱ¸ÒªÁì
Ðû²¼Ê±¼ä£º
2022-08-08 17:28
Ò»ÖÖÔö͸ĤµÄÖƱ¸ÒªÁì
Èܽº-Äý½º·¨ÊÇÒÔ»¯Ñ§»îÐԸߵĻ¯ºÏÎïΪǰÇýÌ壬½«ÕâЩÖÊÁÏÔÚÒºÏàÖлìÏýÔȳƣ¬¾ÙÐÐË®½âºÍËõºÏ»¯Ñ§·´Ó¦£¬ÔÚÈÜÒºÖÐÐγÉÎȹÌ͸Ã÷µÄÈܽºÏµÍ³£¬Í¨¹ýÌáÀ¡¢¶ÆĤµÈ¹¤ÒÕÀú³ÌÔÚ»ùµ×ÉÏ»ñµÃÔö͸Ĥ¡£Èܽº-Äý½º·¨ÊÇʵÑéÊҺϳÉÔö͸Ĥ×î³£ÓõÄÒªÁì¡£Èܽº-Äý½º·¨ÖƱ¸µÄ±¡Ä¤¾ßÓкϳÉζȵ͡¢²Ù×÷¼òÆÓ¡¢·´Ó¦Ò×ÓÚ¿ØÖÆ¡¢ÖÊÁϺÜÊÇÔȳƵÄÌص㡣ÔÚÈܽºÖƱ¸¡¢³ÉÐÍ¡¢ÀÏ»¯¡¢¸ÉÔï¡¢ÍÑË®ºÍÖÂÃÜ»¯Àú³ÌÖУ¬Í¨¹ý¿ØÖƺ͵÷ÀíÈܼÁÓÃÁ¿¡¢ÀÏ»¯Ê±¼ä¡¢±£ÎÂʱ¼äºÍζȣ¬¿ÉÒԺϳÉÔȳÆÖÂÃܵı¡Ä¤¡£
ÁõÓÀÉúµÈÈËÒÔÕý¹èËáÒÒõ¥(TEOS)ºÍÒÒ´¼ÎªÖÊÁÏ£¬°±Ë®ºÍÑÎËáΪ´ß»¯¼Á£¬½ÓÄÉÈܽº-Äý½º·¨ÖƱ¸Á˵ÍÕÛÉäÂʵÄË«²ãÄÉÃ×Ôö͸Ĥ¡£Í¨¹ý±ÈÕÕ¶ÆĤǰºó»ù°åµÄ͸¹âÂÊ£¬·¢Ã÷¿É¼û¹â²¨¶ÎµÄ͸¹âÂÊ¿ÉÌá¸ß6%×óÓÒ£¬Ôö͸Ĥ¶ÆĤºóµÄ·´ÉäÂÊÏÔ×ŵÍÓÚ¶ÆĤǰ¡£¹ØÓÚµ¥¾§¹èµç³Ø£¬×ª»»Ð§ÂÊ¿ÉÌá¸ß1.2%£»¹ØÓڷǾ§¹èµç³Ø£¬×ª»»Ð§ÂÊ¿ÉÒÔÌá¸ß0.5%¡£ËûÃÇ»¹ÓÃÔ×ÓÁ¦ÏÔ΢¾µ(AFM)ÊÓ²ìÁ˱¡Ä¤µÄÍâòÐÎò£¬·¢Ã÷ÍâòÈܽº-Äý½º·¨ÊÇÒÔ»¯Ñ§»îÐÔÒòËظߵĻ¯ºÏÎïΪǰÇýÌ壬ÔÚÒºÏàÖÐÔȳƻìÏýÕâЩÖÊÁÏ£¬¾ÙÐÐË®½âºÍËõºÏ»¯Ñ§·´Ó¦£¬ÔÚÈÜÒºÖÐÐγÉÎȹÌ͸Ã÷µÄÈܽºÏµÍ³£¬Í¨¹ýÌáÀºÍ¶ÆĤ¹¤ÒÕÔÚ»ùµ×ÉÏ»ñµÃÔö͸Ĥ¡£Èܽº-Äý½º·¨ÊÇʵÑéÊҺϳÉÔö͸Ĥ×î³£ÓõÄÒªÁì¡£Èܽº-Äý½º·¨ÖƱ¸µÄ±¡Ä¤¾ßÓкϳÉζȵ͡¢²Ù×÷¼òÆÓ¡¢·´Ó¦Ò×ÓÚ¿ØÖÆ¡¢ÖÊÁϺÜÊÇÔȳƵÄÌص㡣ÔÚÈܽºÖƱ¸¡¢³ÉÐÍ¡¢ÀÏ»¯¡¢¸ÉÔï¡¢ÍÑË®ºÍÖÂÃÜ»¯Àú³ÌÖУ¬Í¨¹ý¿ØÖƺ͵÷ÀíÈܼÁÓÃÁ¿¡¢ÀÏ»¯Ê±¼ä¡¢±£ÎÂʱ¼äºÍζȣ¬¿ÉÒԺϳÉÔȳÆÖÂÃܵı¡Ä¤¡£
ÁõÓÀÉúµÈÈËÒÔÕý¹èËáÒÒõ¥(TEOS)ºÍÒÒ´¼ÎªÖÊÁÏ£¬°±Ë®ºÍÑÎËáΪ´ß»¯¼Á£¬½ÓÄÉÈܽº-Äý½º·¨ÖƱ¸Á˵ÍÕÛÉäÂʵÄË«²ãÄ˽×Ôö͸Ĥ¡£Í¨¹ý±ÈÕÕ¶ÆĤǰºó»ù°åµÄ͸¹âÂÊ£¬·¢Ã÷¿É¼û¹â²¨¶ÎµÄ͸¹âÂÊ¿ÉÒÔÌá¸ß6%×óÓÒ£¬Ôö͸Ĥ¶ÆĤºóµÄ·´ÉäÂÊÏÔ×ŵÍÓÚ¶ÆĤǰ¡£¹ØÓÚµ¥¾§¹èµç³Ø£¬×ª»»Ð§ÂÊ¿ÉÌá¸ß1.2%£»¹ØÓڷǾ§¹èµç³Ø£¬×ª»»Ð§ÂÊ¿ÉÒÔÌá¸ß0.5%¡£ËûÃÇ»¹ÓÃÔ×ÓÁ¦ÏÔ΢¾µÊÓ²ìÁ˱¡Ä¤µÄÍâòÐÎò£¬·¢Ã÷ÍâòÔȳÆƽչ¡£ÐÜÎ÷ÔÀµÈÈ˽ÓÄÉÈܽº-Äý½º·¨ÖƱ¸Á˶þÑõ»¯¹èÔö͸Ĥ£¬Ñо¿ÁËË®½âÌõ¼þºÍÈܽºÀÏ»¯Ê±¼ä¶ÔĤÐÔÄܵÄÓ°Ï졣Ч¹ûÅú×¢£¬°±Ë®µÄʹÓÿÉÒÔËõ¶ÌÈܽºµÄÀÏ»¯Ê±¼ä£¬µÖ´ï×î¼ÑµÄͿĤЧ¹û£¬Ëæ×ÅÀÏ»¯Ê±¼äµÄÑÓÉ죬±¡Ä¤µÄ͸¹âÂÊÏÈÔö´óºó¼õС£¬·åֵ͸¹âÂÊԼΪ98%(ͼ7£¬RΪ°±Ë®µÄÁ¿)¡£±ðµÄ£¬ËûÃÇ»¹Ñо¿ÁËÈܽºÕÛÉäÂÊÓëÀÏ»¯Ê±¼äµÄ¹Øϵ¡£ÕÛÉäÂÊ×÷ΪһÖÖÖÊÁÏÐÔ×Ó£¬ÓëÈܽº×´Ì¬ÓÐÒ»¶¨µÄ¶ÔÓ¦¹Øϵ¡£²âÊÔЧ¹ûÅú×¢£¬Ëæ×ÅÀÏ»¯Ê±¼äµÄÑÓÉ죬ÕÛ¹âÂÊÏȽµµÍ£¬È»ºóÒÔ°±Ë®ÐÎʽµÄRÔöÌíÎïÖʵÄÁ¿¡£µ±ÕÛÉäÂÊ×îСʱ£¬±¡Ä¤µÄÕÛÉäÂÊ×îС£¬¶ÆĤºó±¡Ä¤µÄ¿¹·´ÉäЧ¹û×îºÃ¡£ÕÛÉäÂÊ¿ÉÒÔ¾öÒéÈܽºµÄ×î¼ÑÍ¿¸²Ê±¼ä¡£
Ôö͸Ĥ»¯Ñ§ÆøÏà³Á»ý·¨
Ôö͸Ĥ»¯Ñ§ÆøÏà³Á»ý(CVD)Êǽ«º¬Óб¡Ä¤ÔªËصÄÆøÌåÌṩӦ³Äµ×£¬Ê¹ÓüÓÈÈ¡¢µÈÀë×ÓÌå¡¢×ÏÍâ¹âµÈÄÜÔ´£¬Í¨¹ý»¯Ñ§·´Ó¦Ôڳĵ×ÉϳÁ»ý±¡Ä¤£¬´Ó¶øÖƱ¸³öSiN¡¢ZnS¡¢SiO2¡¢SiCµÈÌ«ÑôÄܵç³ØÓÿ¹·´ÉäĤ¡£
Ôö͸Ĥ»¯Ñ§ÆøÏà³Á»ý·¨ÓÐÐí¶àÓŵã:³ÉĤƫÏòÐÔС£¬Î¢¹ÛÔȳÆÐԺã»±¡Ä¤´¿¶È¸ß£¬Ê£ÓàÓ¦Á¦Ð¡£¬ÑÓÕ¹ÐÔÇ¿£»½ºÆ¬ÊÜ·øÉäËðÉ˽ÏС¡£
Ôö͸Ĥ»¯Ñ§ÆøÏà³Á»ýµÄÖ÷ÒªÈõµãÊÇÐèÒªÔÚ¸ßÎÂÏ·´Ó¦£¬³Äµ×ζȸߣ¬³Á»ýËÙÂʵͣ¬Ò»Ñùƽ³£Ã¿Ð¡Ê±Ö»Óм¸Î¢Ã×µ½¼¸°Ù΢Ã×£¬Ê¹ÓõÄ×°±¸Öش󣬳ĵ×ÄÑÒÔ¾Ö²¿³Á»ý£¬·´Ó¦Ô´ºÍ·´Ó¦ºóµÄÊ£ÓàÆøÌå¾ßÓÐÒ»¶¨µÄ¶¾ÐÔ¡£»¯Ñ§ÆøÏà³Á»ýͨ³£°´·´Ó¦ÀàÐÍ»òѹËõÁ¦·ÖÀ࣬³£ÓõÄÓÐÒÔϼ¸ÖÖ:µÍѹ»¯Ñ§ÆøÏà³Á»ý(lpcvd)¡¢³£Ñ¹»¯Ñ§ÆøÏà³Á»ý(APCVD)¡¢¸ºÑ¹»¯Ñ§ÆøÏà³Á»ý(SACVD)¡¢³¬¸ßÕæ¿Õ»¯Ñ§ÆøÏà³Á»ý(UHCVD)¡¢µÈÀë×ÓÌåÔöÇ¿»¯Ñ§ÆøÏà³Á»ý(PECVD)¡¢¸ßÃܶȵÈÀë×ÓÌ廯ѧÆøÏà³Á»ý(HDPCVD)ºÍ¿ìËÙÈÈ»¯Ñ§ÆøÏà³Á»ý(RTCVD)
µÈÀë×ÓÌåÔöÇ¿»¯Ñ§ÆøÏà³Á»ý(PECVD)ÊÇÖÖÖÖÖÊÁϹ¤Òµ³Á»ýÖÐ×îÆÕ±éʹÓõÄÒªÁì¡£[1]
Ôö͸Ĥ½¦Éä·¨
Ôö͸Ĥ½¦ÉäÒªÁìƾ֤ÆäÌصã·ÖΪÒÔÏÂËÄÖÖ:
(1) DC½¦É䣻
(2)ÉäƵ½¦É䣻
(3)´Å¿Ø½¦É䣻
(4)·´Ó¦½¦Éä¡£
Ôö͸Ĥ´Å¿Ø½¦Éä·¨ÊÇÔÚ¸ßÕæ¿ÕÖгäÈëÊÊÁ¿µÄë²Æø£¬ÔÚÒõ¼«(Öù×´°Ð»òƽÃæ°Ð)ºÍÑô¼«¶ÆĤÊÒ±ÚÖ®¼äÊ©¼ÓDCµçѹ£¬Ê¹¶ÆĤÊÒ±¬·¢´Å¿ØÒì³£»Ô¹â£¬±¬·¢µç£¬Ê¹ë²ÆøµçÀë¡£Ôڵ糡µÄ×÷ÓÃÏ£¬ë²Àë×ÓѸËÙºä»÷°Ð£¬½¦Éä³ö´ó×ڵİÐÔ×Ó£¬Ôڳĵ×ÉϳÁ»ý³öÖÐÐԵİÐÔ×Ó(»ò·Ö×Ó)£¬Ðγɱ¡Ä¤¡£Ñõ»¯îãºÍµª»¯¹è±¡Ä¤Í¨³£Í¨¹ý´Å¿Ø½¦ÉäÀ´ÖƱ¸¡£
Ôö͸Ĥ
ÉÏÒ»Ò³
ÉÏÒ»Ò³